Boron trichloride (bcl3)er ólífrænt efnasamband sem oft er notað við þurrt etsingu og efnafræðilega gufuútfellingu (CVD) ferli í hálfleiðara framleiðslu. Það er litlaust gas með sterka pungent lykt við stofuhita og er viðkvæmt fyrir rakt loft vegna þess að það vatnsrofnar til að framleiða saltsýru og bórsýru.

Umsóknir bór trichloride

Í hálfleiðaraiðnaðinum,Boron trichlorideer aðallega notað til þurrs ætingar á áli og sem dópefni til að mynda P-gerð svæði á kísilþurrkum. Það er einnig hægt að nota til að eta efni eins og GaaS, Si, ALN og sem bór uppspretta í ákveðnum sérstökum forritum. Að auki er bór tríklóríð mikið notað í málmvinnslu, gleriðnaði, efnagreiningum og rannsóknarstofu rannsóknum.

Öryggi bór trichloride

Boron trichlorideer ætandi og eitrað og getur valdið alvarlegum skemmdum á augum og húð. Það vatnsrofnar í röku lofti til að losa eitrað vetnisklóríð gas. Þess vegna þarf að grípa til viðeigandi öryggisráðstafana við meðhöndlunBoron trichloride, þar með talið að vera með hlífðarfatnað, hlífðargleraugu og öndunarvarnarbúnað og starfa í vel loftræstu umhverfi.