Bórtríklóríð (BCl3)er ólífrænt efnasamband sem almennt er notað í þurretsun og efnagufuútfellingu (CVD) í framleiðslu hálfleiðara. Það er litlaus gas með sterka, stingandi lykt við stofuhita og er viðkvæmt fyrir röku lofti þar sem það vatnsrofnar og myndar saltsýru og bórsýru.

Notkun bórtríklóríðs

Í hálfleiðaraiðnaðinum,Bórtríklóríðer aðallega notað til þurretsunar á áli og sem efni til að mynda P-gerð svæði á kísilþynnum. Það er einnig hægt að nota það til að etsa efni eins og GaAs, Si, AlN og sem bórgjafa í ákveðnum tilteknum tilgangi. Að auki er bórtríklóríð mikið notað í málmvinnslu, gleriðnaði, efnagreiningu og rannsóknarstofum.

Öryggi bórtríklóríðs

Bórtríklóríðer ætandi og eitrað og getur valdið alvarlegum skaða á augum og húð. Það vatnsrofnar í röku lofti og losar eitrað vetnisklóríðgas. Því þarf að gera viðeigandi öryggisráðstafanir við meðhöndlun.Bórtríklóríð, þar á meðal að vera í hlífðarfatnaði, hlífðargleraugu og öndunarhlífum og starfa í vel loftræstum umhverfi.