Leysigas

Leysigas er aðallega notað til leysigeislaglæðingar og litografíugass í rafeindaiðnaðinum. Með nýsköpun í farsímaskjám og stækkun notkunarsviða mun umfang lághitamarkaðarins fyrir pólýsílikon stækka enn frekar og leysigeislaferlið hefur bætt afköst TFT skjáa verulega. Meðal neon-, flúor- og argongasa sem notaðir eru í ArF excimer leysigeisla til framleiðslu á hálfleiðurum er neon meira en 96% af leysigasblöndunni. Með betrumbótum á hálfleiðaratækni hefur notkun excimer leysigeisla aukist og innleiðing tvöfaldrar útsetningartækni hefur leitt til mikillar aukningar á eftirspurn eftir neongasi sem ArF excimer leysigeislar nota. Með því að njóta góðs af kynningu á staðbundinni sérhæfðri rafeindagasi munu innlendir framleiðendur hafa betra markaðsvaxtarrými í framtíðinni.

Litografíuvélin er kjarninn í framleiðslu hálfleiðara. Litografía skilgreinir stærð smára. Samræmd þróun litografíuiðnaðarkeðjunnar er lykillinn að byltingu litografíuvéla. Samsvarandi hálfleiðaraefni eins og ljósþol, ljósgrafíugas, ljósgrímur og húðunar- og framköllunarbúnaður hafa mikið tæknilegt innihald. Litografíugas er gasið sem litografíuvélin framleiðir með djúpum útfjólubláum leysi. Mismunandi litografíugas geta framleitt ljósgjafa með mismunandi bylgjulengdum og bylgjulengd þeirra hefur bein áhrif á upplausn litografíuvélarinnar, sem er einn af kjarna litografíuvélarinnar. Árið 2020 mun heildarsala litografíuvéla á heimsvísu vera 413 einingar, þar af námu 258 einingum frá ASML 62%, 122 einingum frá Canon 30% og 33 einingum frá Nikon 8%.