Vetnisklóríðer litlaus gas með sterkri lykt. Vatnslausn þess kallast saltsýra, einnig þekkt sem saltsýra. Vetnisklóríð er mjög leysanlegt í vatni. Við 0°C getur 1 rúmmál af vatni leyst upp um 500 rúmmál af vetnisklóríði.

Það hefur eftirfarandi eiginleika og einkenni:

1. Mikil hreinleiki

Hreinleiki rafrænnar einkunnarvetnisklóríðer mjög hátt, venjulega í ppm eða lægra gildi, til að tryggja að engin óhreinindi komist inn í framleiðsluferlið á hálfleiðurum.

2. Óvirkni

Þetta er efnafræðilega óvirk gas sem hvarfast ekki við mörg önnur efni, sem er mjög mikilvægt til að koma í veg fyrir mengun hálfleiðaraefna og búnaðar.

3. Mikil stöðugleiki

Rafræn einkunnvetnisklóríðhefur almennt stöðuga efnafræði til að tryggja áreiðanlega hálfleiðaravinnslu.

Í hálfleiðaravinnslu eru helstu notkunarsvið vetnisklóríðs í rafeindatækni meðal annars:

1. Yfirborðshreinsun og undirbúningur

Sem skilvirkur yfirborðshreinsir, rafrænn gæðaflokkurvetnisklóríðer notað til að fjarlægja oxíð og óhreinindi af yfirborði undirlagsins til að tryggja gæði og hreinleika epitaxiallagsins eða filmunnar.

2. Vaxtarhjálp fyrir epitaxial

Það er notað sem yfirborðsmeðhöndlunarefni í epitaxialferlinu og hjálpar til við að bæta gæði epitaxiallagsins, bæta grindarsamsvörun og draga úr myndun grindargalla.

3. Forvinnsla undirlags

Áður en hálfleiðarabúnaður er undirbúinn, rafeindagæðavetnisklóríðHægt er að nota til að meðhöndla yfirborð undirlagsins til að mynda stöðugan grunn til að bæta viðloðun milli epitaxiallagsins og undirlagsins.

4. Útfellingarhjálparefni

Í ferli efnafræðilegrar gufuútfellingar (CVD) eða eðlisfræðilegrar gufuútfellingar (PVD) er hægt að nota rafrænt vetnisklóríð sem gasfasaflutningsmiðil til að taka þátt í útfellingarviðbrögðum hálfleiðaraefna.

5. Gasfasaflutningsefni

Sem gasfasaflutningsefni eru önnur loftkennd forverar kynnt inn í hvarfklefann til að hjálpa til við að aðlaga útfellingarhraða og einsleitni efnisins.

Þessir eiginleikar gera rafræna einkunnvetnisklóríðmikilvægt vinnsluefni í hálfleiðaratækni, sem hefur lykiláhrif á afköst og áreiðanleika lokaafurðarinnar.

Auk notkunar í hálfleiðaravinnslu getur vetnisklóríð af rafeindatækni fundið fjölbreytt notkunarsvið á öðrum sviðum, þar á meðal: Undirbúningur efna með mikla hreinleika, eldsneytisfrumur, vöxt hálfleiðaraefna, gufufasa-litografíu, efnisgreiningu og efnafræðilegum rannsóknum.

Almennt séð, rafræn einkunnvetnisklóríðer fjölhæft, mjög hreint gas sem hefur fjölbreytt notkunarsvið utan framleiðslu hálfleiðara.