Vetnisklóríðer litlaust gas með pungent lykt. Vatnslausn þess er kölluð saltsýru, einnig þekkt sem saltsýru. Vetnisklóríð er mjög leysanlegt í vatni. Við 0 ° C getur 1 rúmmál vatns leyst upp um 500 rúmmál af vetnisklóríði.

Það hefur eftirfarandi eiginleika og einkenni:

1.. Mikil hreinleiki

Hreinleiki rafræns bekkjarVetnisklóríðer mjög hátt, venjulega á ppm eða lægra stigi, til að tryggja að engin óhreinindi séu kynnt í framleiðsluferli hálfleiðara.

2.

Það er efnafræðilega óvirk gas sem bregst ekki við mörgum öðrum efnum, sem er mjög mikilvægt til að koma í veg fyrir mengun hálfleiðara efna og búnaðar.

3. Mikill stöðugleiki

Rafræn einkunnVetnisklóríðAlmennt hefur stöðugt efnafræði til að tryggja áreiðanlega vinnslu hálfleiðara.

Í hálfleiðara vinnslu eru helstu notkun rafrænna vetnisklóríðs með:

1. yfirborðshreinsun og undirbúningur

Sem skilvirkt yfirborðshreinsiefni, rafræn bekkVetnisklóríðer notað til að fjarlægja oxíð og óhreinindi frá undirlagsyfirborði til að tryggja gæði og hreinleika þekjulaga eða filmu.

2. Vöxtur hjálparhjálp

Notað sem yfirborðsmeðferðarefni í flækjuferlinu hjálpar það til að bæta gæði flísalaga, bæta grindarsamsvörun og draga úr myndun grindargalla.

3. Undirlagsmeðferð

Fyrir undirbúning hálfleiðara tæki, rafræn einkunnVetnisklóríðer hægt að nota til að meðhöndla yfirborð undirlagsins til að mynda stöðugan grunn til að bæta viðloðunina milli þekjulagsins og undirlagsins.

4.

Í ferlinu við efnafræðilega gufuútfellingu (CVD) eða eðlisfræðilega gufuútfellingu (PVD) er hægt að nota rafrænt vetnisklóríð sem gasfasa til að taka þátt í útfellingarviðbrögðum hálfleiðara efna.

5. Gasfasa flutningsefni

Sem gasfasa flutningsefni eru aðrir loftkenndir undanfara settir inn í hvarfhólfið til að hjálpa til við að aðlaga útfellingarhraða og einsleitni efnisins.

Þessi einkenni gera rafræna einkunnVetnisklóríðMikilvægur vinnsluaðili í hálfleiðara tækni, sem hefur lykiláhrif á afköst og áreiðanleika loka tækisins.

Til viðbótar við notkun þess í hálfleiðara vinnslu, getur rafrænt stigvetnisklóríð fundið margvíslegar notkunar á öðrum sviðum, þar á meðal: undirbúningur á miklum hreinleika, eldsneytisfrumum, hálfleiðara efnisvöxt, gufufasi lithography, efnisgreining, efnafræðirannsóknir.

Almennt, rafræn einkunnVetnisklóríðer fjölhæft, mikið hreinleika gas sem hefur fjölbreytt úrval af forritum utan hálfleiðara framleiðslu.