Árið 2018 náði heimsmarkaðurinn fyrir rafrænt gas fyrir samþættar hringrásir 4,512 milljörðum Bandaríkjadala, sem er 16% aukning frá fyrra ári. Mikill vöxtur í rafrænum sérgasiðnaði fyrir hálfleiðara og gríðarlegur markaðsstærð hefur hraðað innlendum áætlunum um að skipta út rafrænum sérgasi!
Hvað er rafeindagas?
Rafeindagas vísar til grunnefnisins sem notað er í framleiðslu á hálfleiðurum, flatskjám, ljósdíóðum, sólarsellum og öðrum rafeindatækjum og er mikið notað í hreinsun, etsun, filmumyndun, efnablöndun og öðrum ferlum. Helstu notkunarsvið rafeindagass eru rafeindaiðnaður, sólarsellur, farsímasamskipti, bílaleiðsögukerfi og hljóð- og myndkerfi í bílum, flug- og geimferðaiðnaður, hernaðariðnaður og mörg önnur svið.
Rafrænt sérgas má skipta í sjö flokka eftir efnasamsetningu þess: kísill, arsen, fosfór, bór, málmhýdríð, halíð og málmalkoxíð. Samkvæmt mismunandi notkunaraðferðum í samþættum hringrásum má skipta því í lyfjagas, epitaxískt gas, jónígræðslugas, ljósdíóðugas, etsunargas, efnagufuútfellingargas og jafnvægisgas. Það eru meira en 110 einingar af sértækum gasum sem notaðar eru í hálfleiðaraiðnaðinum, þar af eru meira en 30 algengar.
Almennt skiptir framleiðsluiðnaður hálfleiðara lofttegundum í tvo flokka: algengar lofttegundir og sérstakar lofttegundir. Algengasta lofttegundin er miðlæg framboð og notar mikið af lofttegundum, svo sem N2, H2, O2, Ar, He, o.s.frv. Sérstök lofttegund vísar til efnafræðilegra lofttegunda sem notaðar eru í framleiðsluferli hálfleiðara, svo sem útdráttur, jónainnspýting, blöndun, þvottur og grímumyndun, sem við köllum nú rafrænar sérstakar lofttegundir, svo sem hágæða SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, o.s.frv.
Í öllu framleiðsluferli hálfleiðaraiðnaðarins, frá örgjörvaframleiðslu til lokaumbúða tækja, eru nánast allir hlekkir óaðskiljanlegir frá rafeindasérstökum gasi, fjölbreytni gass sem notað er og háum gæðakröfum, þannig að rafeindagas hefur hálfleiðaraefni. „Matvæli“.
Á undanförnum árum hefur framleiðslugeta helstu rafeindaíhluta Kína, svo sem hálfleiðara og skjáa, aukist og mikil eftirspurn er eftir innflutningi í stað rafeindaefna. Staða rafeindagasa í hálfleiðaraiðnaðinum hefur orðið sífellt áberandi. Innlendur rafeindagasiðnaður mun aukast hratt.
Rafrænt sérgas hefur mjög miklar kröfur um hreinleika, því ef hreinleikinn er ekki í samræmi við kröfurnar munu óhreinindahópar eins og vatnsgufa og súrefni í rafrænu sérgasinu auðveldlega mynda oxíðfilmu á yfirborði hálfleiðarans, sem hefur áhrif á endingartíma rafeindatækja og rafrænt sérgas inniheldur óhreinindi sem geta valdið skammhlaupi og skemmdum á rafrásum hálfleiðara. Segja má að aukin hreinleiki gegni lykilhlutverki í afköstum og afköstum framleiðslu rafeindatækja.
Með sífelldri þróun hálfleiðaraiðnaðarins heldur framleiðsluferli örgjörva áfram að batna og hefur nú náð 5nm, sem er að nálgast mörk lögmáls Moore, sem jafngildir einum tuttugasta af þvermáli mannshárs (um 0,1 mm). Þetta setur því einnig fram meiri kröfur um hreinleika rafeindagassins sem framleitt er úr hálfleiðurum.
Birtingartími: 15. des. 2021
