Árið 2018 náði alþjóðlegur rafeindagasmarkaður fyrir samþættar rafrásir 4,512 milljörðum Bandaríkjadala, sem er 16% aukning á milli ára. Hátt vaxtarhraði rafrænna sérgasiðnaðarins fyrir hálfleiðara og gríðarstór markaðsstærð hefur flýtt fyrir innlendri staðgönguáætlun rafeindagass!
Hvað er rafeindagas?
Rafrænt gas vísar til grunnupprunaefnisins sem notað er við framleiðslu á hálfleiðurum, flatskjám, ljósdíóðum, sólarsellum og öðrum rafeindavörum og er mikið notað í hreinsun, ætingu, kvikmyndamyndun, lyfjanotkun og öðrum ferlum. Helstu notkunarsvið rafeindagass eru rafeindaiðnaðurinn, sólarsellur, farsímafjarskipti, bílaleiðsögu og hljóð- og myndkerfi bíla, geimferðir, heriðnaður og mörg önnur svið.
Rafrænt sérgas má skipta í sjö flokka eftir eigin efnasamsetningu: kísil, arsen, fosfór, bór, málmhýdríð, halíð og málmalkoxíð. Samkvæmt mismunandi notkunaraðferðum í samþættum hringrásum er hægt að skipta því í lyfjagas, epitaxy gas, jónaígræðslugas, ljósdíóða gas, ætargas, efnagufuútfellingargas og jafnvægisgas. Það eru meira en 110 einingar sérstakar lofttegundir sem notaðar eru í hálfleiðaraiðnaðinum, þar af meira en 30 eru almennt notaðar.
Almennt skiptir hálfleiðaraframleiðsluiðnaðurinn lofttegundum í tvær tegundir: algengar lofttegundir og sérstakar lofttegundir. Meðal þeirra vísar almennt notað gas til miðstýrðs framboðs og notar mikið gas, svo sem N2, H2, O2, Ar, He, osfrv. Sérstakt gas vísar til sumra efnalofttegunda sem notuð eru við framleiðslu hálfleiðara, s.s. framlenging, jónasprautun, blöndun, þvott og grímumyndun, sem er það sem við köllum nú rafrænt sérgas, eins og hárhreint SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 osfrv.
Í öllu framleiðsluferli hálfleiðaraiðnaðarins, frá vexti flísa til endanlegrar umbúða tækisins, er næstum hver hlekkur óaðskiljanlegur frá rafrænu sérstöku gasi og fjölbreytni gass sem notað er og hágæðakröfur, þannig að rafgas hefur hálfleiðara efni. „Matur“.
Á undanförnum árum hafa helstu rafeindaíhlutir Kína eins og hálfleiðarar og skjáborð aukist í nýrri framleiðslugetu og mikil eftirspurn er eftir innflutningi á rafeindaefnafræðilegum efnum. Staða rafeindagastegunda í hálfleiðaraiðnaði hefur orðið sífellt meira áberandi. Innlendur rafeindagasiðnaður mun hefja öran vöxt.
Rafrænt sérgas hefur mjög miklar kröfur um hreinleika, vegna þess að ef hreinleiki er ekki í samræmi við kröfurnar munu óhreinindishóparnir eins og vatnsgufa og súrefni í rafeindagasinu auðveldlega mynda oxíðfilmu á yfirborði hálfleiðarans, sem hefur áhrif á endingartíma rafeindatækja og rafeindagasið inniheldur Agnir óhreininda geta valdið skammhlaupi í hálfleiðurum og skaða á rafrásum. Það má segja að endurbætur á hreinleika gegni mikilvægu hlutverki í ávöxtun og frammistöðu rafeindatækjaframleiðslu.
Með stöðugri þróun hálfleiðaraiðnaðarins heldur flísaframleiðsluferlið áfram að batna og nú hefur það náð 5nm, sem er um það bil að nálgast mörk lögmáls Moores, sem jafngildir einum tuttugasta af þvermáli mannshárs ( um 0,1 mm). Þess vegna setur þetta einnig fram hærri kröfur um hreinleika rafeindagassins sem framleitt er af hálfleiðurum.
Birtingartími: 15. desember 2021
