Árið 2018 náði alþjóðlegur rafræn gasmarkaður fyrir samþættar hringrásir 4,512 milljarða Bandaríkjadala, aukning frá 16%milli ára. Mikill vaxtarhraði rafræns sértækra gasiðnaðar fyrir hálfleiðara og gríðarlega markaðsstærð hefur flýtt fyrir innlendri skiptisáætlun rafræns sérstaks gas!
Hvað er rafeindagas?
Rafrænt gas vísar til grunnuppsprettuefnsins sem notuð er við framleiðslu hálfleiðara, flatskjáa, ljósdíóða, sólarfrumur og aðrar rafrænar vörur og er mikið notað við hreinsun, ætingu, kvikmyndamyndun, lyfjamisnotkun og aðra ferla. Helstu notkunarsvið rafræns gas eru rafeindatækniiðnaðurinn, sólarfrumur, farsímasamskipti, bílaleiðsögn og bílaleið og myndbandskerfi, geimferðir, hernaðariðnaður og mörg önnur svið.
Skipta má rafrænu sérstöku gasi í sjö flokka í samræmi við eigin efnasamsetningu: kísil, arsen, fosfór, bór, málmhýdríð, halíð og málm alkoxíð. Samkvæmt mismunandi notkunaraðferðum í samþættum hringrásum er hægt að skipta því í lyfjamisnotkun, epitaxy gas, jónígræðslu gas, ljósgeislunargas, ætandi gas, efnafræðilega gufuútfellingargas og jafnvægisgas. Það eru meira en 110 eininga sérstakar lofttegundir sem notaðar eru í hálfleiðaraiðnaðinum, þar af eru meira en 30 notaðir.
Almennt skiptir hálfleiðari framleiðsluiðnaðurinn lofttegundum í tvenns konar: algengar lofttegundir og sérstakar lofttegundir. Meðal þeirra vísar hið almennt notaða gas til miðstýrðs framboðs og notar mikið af gasi, svo sem N2, H2, O2, AR, hann, o.fl. Sérstakt gas vísar til sumra efnafræðilegra lofttegunda sem notaðar eru við framleiðslu hálfleiðara, svo sem við framlengingu, jón, blandun, þvott og grímu myndun, sem er það sem við hringjum nú í rafeindasérfræðing, svo sem háu gildi SIH4, ASH3, Ash3, Ash3, B2H6, N2, N2,, svo sem High-Ope NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, ETC.
Í öllu framleiðsluferlinu í hálfleiðaraiðnaðinum, frá flísvöxt til lokaumbúða, er næstum hver hlekkur óaðskiljanlegur frá rafrænu sérstöku gasi, og fjölbreytni gas sem notuð er og hágæða kröfur, svo rafrænt gas hefur hálfleiðara efni. „Matur“.
Undanfarin ár hafa helstu rafeindahlutar Kína, svo sem hálfleiðarar og skjáplötur aukist í nýjum framleiðslugetu og mikil eftirspurn er eftir innflutningi rafrænna efna. Staða rafrænna lofttegunda í hálfleiðaraiðnaðinum hefur orðið sífellt áberandi. Innlend rafræna gasiðnaðurinn mun koma í veg fyrir öran vöxt.
Rafrænt sérstakt gas hefur mjög miklar kröfur um hreinleika, vegna þess að ef hreinleiki er ekki í samræmi við kröfurnar, þá munu óhreinindihópar eins og vatnsgufur og súrefni í rafrænu sérstöku gasinu auðveldlega mynda oxíðfilmu á yfirborði hálfleiðara, sem hefur áhrif á þjónustulíf rafrænna tækja og rafrænt sértjón. Það má segja að bætingin á hreinleika gegni mikilvægu hlutverki í afrakstri og afköstum framleiðslu rafeindabúnaðar.
Með stöðugri þróun hálfleiðaraiðnaðarins heldur flísarframleiðslunni áfram að bæta sig og nú hefur það náð 5nm, sem er að fara að nálgast mörk laga Moore, sem jafngildir einum tuttugasta þvermál mannshárs (um 0,1 mm). Þess vegna setur þetta einnig fram hærri kröfur um hreinleika rafræns sérstaks gas sem framleitt er af hálfleiðara.
Post Time: desember-15-2021
