Brennisteins hexafluoride er gas með framúrskarandi einangrunareiginleika og er oft notað í háspennu boga slökkvi og spennum, háspennu háspennulínum, spennum osfrv. Hins vegar, til viðbótar við þessar aðgerðir, er einnig hægt að nota brennisteinshexafluoride sem rafrænt etchant. Rafrænt stig með mikla hreinleika brennisteins hexafluorid er kjörið rafrænt ætandi, sem er mikið notað á sviði ör rafeindatækni. Í dag mun Niu Ruide sérstakur gasritstjóri Yueyue kynna beitingu brennisteins hexafluoride í kísilnítríð ætingu og áhrifum mismunandi breytna.
Við ræðum SF6 plasma etsing sinx ferli, þar með talið að breyta plasmafæðinu, gashlutfalli SF6/HE og bæta við katjónískum gasi O2, ræða áhrif þess á ætingarhraða SinX frumefnisvörn TFT og nota plasma geislun litrófs greiningar á einbeitingu SF6 í SF6/He, SF6/HE/O2 Plasma og SF6 aðgreining SF6/He, og SF6/HE/O2 PLASMA og SF6, og, og HE,, og SF6/HE/O2 PLASMA og SF6 og SF6/HE, og SF6/HE/O2 PLASma og SF6. kannar tengslin milli breytinga á etsunarhraða Sinx og plasma tegunda.
Rannsóknir hafa komist að því að þegar plasmakrafturinn er aukinn eykst ætingarhraði; Ef rennslishraði SF6 í plasma er aukinn eykst styrkur F atómsins og er jákvæður í samræmi við ætingarhraðann. Að auki, eftir að katjónískt gas O2 er bætt við fastan heildar rennslishraða, mun það hafa áhrif á að auka ætingarhraða, en undir mismunandi O2/SF6 rennslishlutföllum, þá verða mismunandi viðbragðsaðferðir, sem hægt er að skipta í þrjá hluta: (1) O2/SF6 rennslishlutfallið er mjög lítið, O2 getur hjálpað til við að greina SF6, og ETCHING hlutfallið á þessu sinni er meira en þegar O2 er ekki bætt við. (2) Þegar O2/SF6 rennslishlutfallið er meira en 0,2 við bilið sem nálgast 1, á þessum tíma, vegna mikils aðgreiningar SF6 til að mynda F atóm, er ætingarhraðinn hæst; En á sama tíma eykst O atómin í plasma og það er auðvelt að mynda siox eða sinxo (yx) með Sinx kvikmynd yfirborðinu, og því fleiri o atóm eykst, því erfiðara verður F atómið fyrir ætingarviðbrögðin. Þess vegna byrjar etsunarhraði að hægja á sér þegar O2/SF6 hlutfallið er nálægt 1. (3) Þegar O2/SF6 hlutfallið er meira en 1, lækkar ætingarhraði. Vegna mikillar aukningar á O2 rekast aðgreindir F atóm saman við O2 og form af, sem dregur úr styrk F atómanna, sem leiðir til lækkunar á ætingarhraða. Það er hægt að sjá af þessu að þegar O2 er bætt við er rennslishlutfall O2/SF6 á milli 0,2 og 0,8 og hægt er að fá besta ætingarhraða.
Post Time: Des-06-2021
