Hlutverk brennisteinshexaflúoríðs í kísilnítríð ætingu

Brennisteinshexaflúoríð er gas með framúrskarandi einangrunareiginleika og er oft notað í háspennubogaslökkvi og spennubreytum, háspennuflutningslínum, spennum o.s.frv. Hins vegar, auk þessara aðgerða, er einnig hægt að nota brennisteinshexaflúor sem rafeindaefni. . Rafrænt háhreint brennisteinshexaflúoríð er tilvalið rafrænt etsefni, sem er mikið notað á sviði öreindatækni. Í dag mun Yueyue, sérstakur gasritstjóri Niu Ruide, kynna notkun brennisteinshexaflúoríðs í kísilnítríð ætingu og áhrif mismunandi breytu.

Við ræðum SF6 plasma ætingarferlið SiNx, þar á meðal að breyta plasmaafli, gashlutfalli SF6/He og bæta við katjóníska gasinu O2, ræða áhrif þess á ætingarhraða SiNx frumefnisverndarlags TFT og nota plasmageislun. Litrófsmælirinn greinir styrkbreytingar hverrar tegundar í SF6/He, SF6/He/O2 plasma og SF6 sundrunarhraða og kannar sambandið á milli breytinga á SiNx ætingarhraða og styrks plasmategunda.

Rannsóknir hafa komist að því að þegar plasmaaflið er aukið eykst ætingarhraði; ef flæðishraði SF6 í plasma eykst eykst styrkur F atóma og er jákvæð fylgni við ætingarhraðann. Að auki, eftir að katjónagasinu O2 hefur verið bætt við undir föstum heildarflæðishraða, mun það hafa þau áhrif að ætingarhraðinn eykst, en við mismunandi O2/SF6 flæðishlutföll verða mismunandi hvarfaðferðir sem má skipta í þrjá hluta : (1) O2/SF6 flæðishlutfallið er mjög lítið, O2 getur hjálpað til við sundrun SF6 og ætingarhraði á þessum tíma er meiri en þegar O2 er ekki bætt við. (2) Þegar O2/SF6 flæðishlutfallið er meira en 0,2 á bilinu sem nálgast 1, á þessum tíma, vegna mikillar sundrunar SF6 til að mynda F atóm, er ætingarhraðinn hæstur; en á sama tíma eru O atómin í blóðvökvanum líka að aukast og það er auðvelt að mynda SiOx eða SiNxO(yx) með yfirborði SiNx filmunnar og því meira sem O frumeindir aukast, því erfiðara verða F atómin fyrir ætingarviðbrögð. Þess vegna byrjar ætingarhraðinn að hægja á sér þegar O2/SF6 hlutfallið er nálægt 1. (3) Þegar O2/SF6 hlutfallið er meira en 1 minnkar ætingarhraðinn. Vegna mikillar aukningar á O2 rekast aðgreindu F atómin við O2 og mynda OF, sem dregur úr styrk F atóma, sem leiðir til lækkunar á ætingarhraða. Af þessu má sjá að þegar O2 er bætt við er flæðishlutfall O2/SF6 á milli 0,2 og 0,8 og fæst besta ætingarhraði.