Notkun wolfram hexafluoride (WF6)

Wolfram hexafluoride (WF6) er sett á yfirborð skífunnar í gegnum CVD ferli, fyllir málm samtengingar skurði og myndar málm samtengingu milli laga.

Við skulum tala fyrst um plasma. Plasma er mynd af efni aðallega sem samanstendur af ókeypis rafeindum og hlaðnum jónum. Það er víða í alheiminum og er oft litið á það sem fjórða ástand málsins. Það er kallað plasmaástand, einnig kallað „plasma“. Plasma hefur mikla rafleiðni og hefur sterk tengiáhrif við rafsegulsvið. Það er að hluta til jónað gas, sem samanstendur af rafeindum, jónum, sindurefnum, hlutlausum agnum og ljóseindum. Plasma sjálft er rafmagns hlutlaus blanda sem inniheldur líkamlega og efnafræðilega virkar agnir.

Einfaldlega skýringin er sú að undir verkun mikillar orku mun sameindin sigrast á Van der Waals krafti, efnafræðilegum krafti og Coulomb krafti og sýna form hlutlauss rafmagns í heild. Á sama tíma sigrar mikla orkan sem utanaðkomandi sigrar ofangreind þrjú sveitir. Virkni, rafeindir og jónir sýna frjálst ástand, sem hægt er að nota tilbúnar undir mótun segulsviðs, svo sem hálfleiðara ætingarferli, CVD ferli, PVD og IMP ferli.

Hvað er mikil orka? Fræðilega séð er hægt að nota bæði háan hita og hátíðni RF. Almennt séð er háhiti nánast ómögulegt að ná. Þessi hitastigskrafa er of mikil og getur verið nálægt hitastigi sólarinnar. Það er í grundvallaratriðum ómögulegt að ná í ferlinu. Þess vegna notar iðnaðurinn venjulega hátíðni RF til að ná því. Plasma RF getur náð allt að 13MHz+.

Wolfram hexafluoride er plasmíðað undir verkun rafsviðs og síðan gufu-dreifð með segulsvið. W atóm eru svipuð vetrargæsafjöðrum og falla til jarðar undir þyngdarafl. Hægt og rólega eru W frumeindir settar inn í í gegnum götin og að lokum fyllt full í gegnum göt til að mynda samtengingu málms. Auk þess að setja W atóm í í gegnum götin, verður þau einnig sett á yfirborð skífunnar? Já, örugglega. Almennt séð geturðu notað W-CMP ferlið, sem er það sem við köllum vélrænu mala ferlið til að fjarlægja. Það er svipað og að nota kúst til að sópa gólfinu eftir mikinn snjó. Snjórinn á jörðu er hrífast í burtu, en snjórinn í holunni á jörðu verður áfram. Niður, nokkurn veginn það sama.