Notkun wolframhexaflúoríðs (WF6)

Volframhexaflúoríð (WF6) er sett á yfirborð skúffunnar með CVD ferli, fyllir málmtengingarskurðina og myndar málmtenginguna milli laga.

Við skulum tala um plasma fyrst. Plasma er form efnis aðallega samsett úr frjálsum rafeindum og hlaðnum jónum. Það er til víða í alheiminum og er oft litið á það sem fjórða ástand efnisins. Það er kallað plasma ástand, einnig kallað „plasma“. Plasma hefur mikla rafleiðni og hefur sterk tengiáhrif við rafsegulsvið. Það er að hluta til jónað gas, samsett úr rafeindum, jónum, sindurefnum, hlutlausum ögnum og ljóseindum. Plasmaið sjálft er rafhlutlaus blanda sem inniheldur líkamlega og efnafræðilega virkar agnir.

Einfalda skýringin er sú að undir virkni mikillar orku mun sameindin sigrast á van der Waals kraftinum, efnatengikraftinum og Coulomb kraftinum og sýna hlutlausan raforku í heild sinni. Á sama tíma sigrar hin mikla orka sem ytra gefur frá sér ofangreinda þrjá krafta. Virkni, rafeindir og jónir sýna frjálst ástand, sem hægt er að nota tilbúnar undir mótun segulsviðs, svo sem hálfleiðara ætingarferli, CVD ferli, PVD og IMP ferli.

Hvað er mikil orka? Fræðilega séð er hægt að nota bæði háhita og hátíðni RF. Almennt séð er nær ómögulegt að ná háum hita. Þessi hitakrafa er of há og gæti verið nálægt hitastigi sólarinnar. Það er í grundvallaratriðum ómögulegt að ná því í ferlinu. Þess vegna notar iðnaðurinn venjulega hátíðni RF til að ná því. Plasma RF getur náð allt að 13MHz+.

Volfram hexaflúoríð er sett í plasma undir áhrifum rafsviðs og síðan gufuútsett með segulsviði. W atóm líkjast vetrargæsfjöðrum og falla til jarðar undir áhrifum þyngdaraflsins. Hægt og rólega er W atóm sett inn í gegnum götin og að lokum fyllt fullt í gegnum göt til að mynda málmtengingar. Auk þess að setja W atóm í gegnum holurnar, munu þau einnig setjast á yfirborð wafersins? Já, örugglega. Almennt séð geturðu notað W-CMP ferlið, sem er það sem við köllum vélræna malaferlið til að fjarlægja. Það er svipað og að nota kúst til að sópa gólfið eftir mikinn snjó. Snjórinn á jörðinni er sópaður burt en snjór í holunni á jörðinni verður eftir. Niður, nokkurn veginn það sama.