Notkun wolframhexaflúoríðs (WF6)

Wolframhexaflúoríð (WF6) er sett á yfirborð skífunnar með CVD-ferli, fyllir skurðina í málmtengingunum og myndar málmtenginguna milli laganna.

Við skulum fyrst ræða plasma. Plasma er efnisform sem aðallega samanstendur af frjálsum rafeindum og hlaðnum jónum. Það finnst víða um alheiminn og er oft talið vera fjórða ástand efnisins. Það er kallað plasmaástand, einnig kallað „plasma“. Plasma hefur mikla rafleiðni og sterka tengingu við rafsegulsvið. Það er að hluta til jónað gas, samsett úr rafeindum, jónum, sindurefnum, hlutlausum ögnum og ljóseindum. Plasmaið sjálft er rafmagnshlutlaus blanda sem inniheldur eðlisfræðilega og efnafræðilega virkar agnir.

Einfalda skýringin er sú að undir áhrifum mikillar orku mun sameindin sigrast á van der Waals kraftinum, efnatengiskraftinum og Coulomb kraftinum og mynda hlutlausa raforku í heild sinni. Á sama tíma sigrar hin mikla orka sem ytra umhverfi gefur frá sér ofangreinda þrjá krafta. Virkni rafeinda og jóna er í frjálsu ástandi sem hægt er að nota tilbúnar með segulsviðsmótun, svo sem með hálfleiðaraetsunarferlum, CVD aðferðum, PVD og IMP aðferðum.

Hvað er háorka? Í orði kveðnu er hægt að nota bæði háhita og hátíðni RF. Almennt séð er háum hita nánast ómögulegt að ná. Þessi hitastigskröfur eru of háar og geta verið nálægt sólarhita. Það er í raun ómögulegt að ná þeim í ferlinu. Þess vegna nota iðnaðurinn venjulega hátíðni RF til að ná þessu. Plasma RF getur náð allt að 13MHz+.

Wolfram hexaflúoríð plasmamyndast undir áhrifum rafsviðs og gufar síðan upp með segulsviði. W atóm eru svipuð vetrargæsafjöðrum og falla til jarðar undir áhrifum þyngdaraflsins. Hægt og rólega setjast W atóm í gegnum götin og að lokum fyllast þau til að mynda málmtengingar. Auk þess að setjast W atóm í gegnum götin, munu þau einnig setjast á yfirborð skífunnar? Já, klárlega. Almennt séð er hægt að nota W-CMP ferlið, sem við köllum vélræna slípun til að fjarlægja það. Það er svipað og að nota kúst til að sópa gólfið eftir mikla snjókomu. Snjórinn á jörðinni er sópaður burt, en snjórinn í holunni á jörðinni verður eftir. Niðri, nokkurn veginn það sama.