Koltetraflúoríð (CF4)

Tæknilegar breytur

Koltetraflúoríð er halógenað kolvetni með efnaformúlunni CF4. Það má líta á það sem halógenað kolvetni, halógenað metan, perflúorkolefni eða sem ólífrænt efnasamband. Koltetraflúoríð er litlaus og lyktarlaus gas, óleysanlegt í vatni, leysanlegt í bensen og klóróformi. Stöðugt við eðlilegt hitastig og þrýsting, forðist sterk oxunarefni, eldfim eða eldfim efni. Óeldfimt gas, innri þrýstingur ílátsins eykst við mikinn hita og hætta er á sprungum og sprengingu. Það er efnafræðilega stöðugt og ekki eldfimt. Aðeins fljótandi ammóníak-natríum málmhvarfefni getur virkað við stofuhita. Koltetraflúoríð er gas sem veldur gróðurhúsaáhrifum. Það er mjög stöðugt, getur haldist lengi í andrúmsloftinu og er mjög öflug gróðurhúsalofttegund. Koltetraflúoríð er notað í plasma-etsunarferli ýmissa samþættra hringrása. Það er einnig notað sem leysigeisli og er notað í lághita kæliefni, leysiefni, smurefni, einangrunarefni og kælivökva fyrir innrauða skynjara. Þetta er mest notaða plasmaetsgasið í ör-rafeindaiðnaðinum. Það er blanda af tetraflúormetan háhreinleikagasi og tetraflúormetan háhreinleikagasi og háhreinleikasúrefni. Það er mikið notað í kísill, kísildíoxíð, kísillnítríð og fosfósílíkatgler. Etsun þunnfilmuefna eins og wolframs og wolframs er einnig mikið notuð í yfirborðshreinsun rafeindatækja, framleiðslu sólarsella, leysigeislatækni, lághitakælingu, lekaeftirlit og þvottaefni í framleiðslu prentaðra hringrása. Notað sem lághitakælimiðill og plasmaþurrætingartækni fyrir samþættar hringrásir. Varúðarráðstafanir við geymslu: Geymið á köldum, loftræstum, óeldfimum gasgeymslum. Haldið frá eldi og hitagjöfum. Geymsluhitastigið ætti ekki að fara yfir 30°C. Það ætti að geyma aðskilið frá auðeldfimum (eldfimum) efnum og oxunarefnum og forðast blandaða geymslu. Geymslusvæðið ætti að vera búið neyðarbúnaði fyrir leka.

Umsókn:

① Kælimiðill:

Tetraflúormetan er stundum notað sem kælimiðill við lágt hitastig.

② Etsun:

Það er notað í örframleiðslu rafeindatækni eitt sér eða í samsetningu við súrefni sem plasmaetsandi efni fyrir kísill, kísildíoxíð og kísillnítríð.

Venjulegur pakki:

Kostur:

①Há hreinleiki, nýjasta aðstaða;

②ISO vottorð framleiðandi;

③ Hrað afhending;

④Greiningarkerfi á netinu fyrir gæðaeftirlit í hverju skrefi;

⑤Há kröfu og nákvæmt ferli við meðhöndlun strokksins fyrir fyllingu;