Forskrift | 99,999% |
Súrefni+argon | ≤1 ppm |
Nitur | ≤4 ppm |
Raki (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halókarbynes | ≤1 ppm |
Heildar óhreinindi | ≤10 ppm |
Koltetraflúoríð er halógenað kolvetni með efnaformúlu CF4.Það má líta á það sem halógenað kolvetni, halógenað metan, perflúorkolefni eða sem ólífrænt efnasamband.Koltetraflúoríð er litlaus og lyktarlaus lofttegund, óleysanleg í vatni, leysanleg í benseni og klóróformi.Stöðugt við eðlilegt hitastig og þrýsting, forðastu sterk oxunarefni, eldfim eða eldfim efni.Óbrennanlegt gas, innri þrýstingur ílátsins mun aukast þegar það verður fyrir miklum hita og hætta er á sprungum og sprengingu.Það er efnafræðilega stöðugt og ekki eldfimt.Aðeins fljótandi ammoníak-natríum málm hvarfefni getur virkað við stofuhita.Koltetraflúoríð er lofttegund sem veldur gróðurhúsaáhrifum.Hún er mjög stöðug, getur dvalið í andrúmsloftinu í langan tíma og er mjög öflug gróðurhúsalofttegund.Koltetraflúoríð er notað í plasmaætingarferli ýmissa samþættra rafrása.Það er einnig notað sem leysigas og er notað í lághita kælimiðla, leysiefni, smurefni, einangrunarefni og kælivökva fyrir innrauða skynjara.Það er mest notaða plasmaætingargasið í öreindatækniiðnaðinum.Það er blanda af tetraflúormetan háhreinu gasi og tetraflúormetan háhreinu gasi og háhreinu súrefni.Það er hægt að nota mikið í sílikon, kísildíoxíði, kísilnítríði og fosfósílíkatgleri.Æsing þunnfilmuefna eins og wolfram og wolfram er einnig mikið notað í yfirborðshreinsun rafeindatækja, sólarselluframleiðslu, leysitækni, lághitakælingu, lekaskoðun og þvottaefni í prentuðu hringrásarframleiðslu.Notað sem lághita kælimiðill og plasmaþurrætingartækni fyrir samþættar hringrásir.Varúðarráðstafanir við geymslu: Geymið á köldum, loftræstum óbrennanlegu gasgeymslu.Geymið fjarri eldi og hitagjöfum.Geymsluhitastig ætti ekki að fara yfir 30°C.Það ætti að geyma aðskilið frá auðveldlega (eldfimlegum) eldfimum efnum og oxunarefnum og forðast blandaða geymslu.Geymslusvæðið ætti að vera búið neyðarmeðferðarbúnaði fyrir leka.
① Kælimiðill:
Tetraflúormetan er stundum notað sem lághita kælimiðill.
② Æsing:
Það er notað í rafeindatækni örframleiðsla eitt sér eða í samsetningu með súrefni sem plasma etsefni fyrir kísill, kísildíoxíð og kísilnítríð.
Vara | KolefnistetraflúoríðCF4 | ||
Pakkningastærð | 40Ltr strokka | 50Ltr strokka | |
Fylling Nettóþyngd/Cyl | 30 kg | 38 kg | |
Magn Hlaðið í 20' ílát | 250 síl | 250 síl | |
Heildareiginleg þyngd | 7,5 tonn | 9,5 tonn | |
Þyngd strokka | 50 kg | 55 kg | |
Loki | CGA 580 |
① Hár hreinleiki, nýjasta aðstaða;
②ISO vottorð framleiðandi;
③Fljótur afhending;
④ Greiningarkerfi á netinu fyrir gæðaeftirlit í hverju skrefi;
⑤ Mikil krafa og nákvæmt ferli til að meðhöndla strokka fyrir fyllingu;