Stærsta magn rafeindabúnaðar með sérstöku gasi – köfnunarefnistríflúoríð NF3

Hálfleiðara- og spjaldaiðnaður landsins okkar heldur áfram að blómstra. Niturtríflúoríð, sem ómissandi og stórt rafeindagas í framleiðslu og vinnslu spjalda og hálfleiðara, hefur breitt markaðssvæði.

Algeng notkun flúor-innihaldandi sérstakra rafeindagasa eru meðal annarsbrennisteinshexaflúoríð (SF6), wolfram hexaflúoríð (WF6),kolefnistetraflúoríð (CF4), tríflúormetan (CHF3), köfnunarefnistríflúoríð (NF3), hexaflúoretan (C2F6) og oktaflúorprópan (C3F8). Köfnunarefnistríflúoríð (NF3) er aðallega notað sem flúorgjafi fyrir orkumikla efnaleysigeisla sem innihalda vetnisflúoríð-flúoríðgas. Virkur hluti (um 25%) af hvarforkunni milli H2-O2 og F2 getur losnað með leysigeislun, þannig að HF-OF leysir eru efnilegustu leysir meðal efnaleysigeisla.

Niturtríflúoríð er frábært plasmaetsgas í ör-rafeindaiðnaðinum. Til að etsa kísill og kísillnítríð hefur niturtríflúoríð meiri etshraða og sértækni en koltetraflúoríð og blanda af koltetraflúoríði og súrefni og mengar ekki yfirborðið. Sérstaklega við etsun á samþættum hringrásarefnum með þykkt minni en 1,5 míkrómetra hefur niturtríflúoríð mjög góða etshraða og sértækni, skilur ekki eftir leifar á yfirborði etsaðs hlutar og er einnig mjög gott hreinsiefni. Með þróun nanótækni og stórfelldri þróun rafeindaiðnaðarins mun eftirspurn eftir því aukast dag frá degi.

Köfnunarefnistríflúoríð (NF3) er tegund flúor-innihaldandi sérstakrar gastegundar og er því stærsta rafeinda sérstakrar gasafurðar á markaðnum. Hún er efnafræðilega óvirk við stofuhita, virkari en súrefni, stöðugri en flúor og auðvelt að meðhöndla við háan hita.

Niturtríflúoríð er aðallega notað sem plasmaetsgas og hreinsiefni fyrir hvarfklefa, hentugt fyrir framleiðslu á sviðum eins og hálfleiðuraflögum, flatskjám, ljósleiðurum, sólarsellum o.s.frv.

Í samanburði við aðrar flúor-innihaldandi rafeindagas hefur köfnunarefnistríflúoríð kosti þess að vera fljótt að efna og skila mikilli skilvirkni, sérstaklega við etsun á kísil-innihaldandi efnum eins og kísilnítríði. Það hefur mikla etshraða og sértækni, skilur ekki eftir leifar á yfirborði etsaðs hlutar og er einnig mjög gott hreinsiefni, mengar ekki yfirborðið og getur uppfyllt þarfir vinnsluferlisins.