Stærsta magn rafræns sérstaks gas - köfnunarefnis trifluoride NF3

Hálfleiðandi iðnaður og pallborðsiðnaður landsins viðhalda mikilli velmegun. Köfnunarefnis trifluoride, sem ómissandi og stærsta bindi sérstakt rafrænt gas í framleiðslu og vinnslu spjalda og hálfleiðara, hefur breitt markaðsrými.

Algengt er að nota flúor sem inniheldur sérstakar rafræn lofttegundirBrennisteinshexafluoride (SF6), wolfram hexafluoride (wf6),kolefnis tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), köfnunarefnis trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2f6) og octafluoropropane (C3f8). Köfnunarefnis trifluoride (NF3) er aðallega notað sem flúor uppspretta fyrir vetnisflúoríð-flúoríð gas háorku efnafræðilega leysir. Hægt er að losa virkan hlut (um 25%) viðbragðsorkunnar milli H2-O2 og F2 með leysigeislun, þannig að HF-af leysir eru efnilegustu leysir meðal efnafræðilegra leysir.

Köfnunarefnis trifluoride er frábært plasma etsunargas í ör rafeindaiðnaðinum. Til að eta sílikon og kísilnítríð hefur köfnunarefnis tríflúoríð hærra ætingarhraða og sértækni en kolefnis tetrafluoride og blanda af kolefnis tetrafluoride og súrefni og hefur enga mengun á yfirborðið. Sérstaklega í etsingu samþættra hringrásarefna með þykkt minna en 1.5, hefur köfnunarefnis tríflúoríð mjög framúrskarandi ætingarhraða og sértækni, sem skilur ekki eftir á yfirborði etsaðs hlutar og er einnig mjög gott hreinsiefni. Með þróun nanótækni og stórfelldri þróun rafeindatækniiðnaðarins mun eftirspurn hans aukast dag frá degi.

Sem tegund af sértæku gasi sem inniheldur flúor er köfnunarefnis trifluoride (NF3) stærsta rafræna sérstaka gasafurðin á markaðnum. Það er efnafræðilega óvirk við stofuhita, virkari en súrefni, stöðugra en flúor, og auðvelt að meðhöndla við háan hita.

Köfnunarefnis trifluoride er aðallega notað sem plasma etsing gas- og viðbragðshólfshreinsunarefni, hentugur til framleiðslu á sviðum eins og hálfleiðara flísum, flatskjásskjá, sjóntrefjum, ljósmyndafrumum osfrv.

Í samanburði við aðrar rafrænar lofttegundir sem innihalda flúor, hefur köfnunarefnis tríflúoríð kosti hratt viðbragða og mikils skilvirkni, sérstaklega við etsingu á kísil sem innihalda efni eins og kísilnítríð, það hefur háan etsunarhraða og sértækni, en ekki er ekki hægt að draga úr áföngum og er einnig að það er ekki hægt að koma á yfirborði og það er ekki hægt að koma á yfirborði og það. vinnsluferlið.