Algengar sérstakar rafeindalofttegundir sem innihalda flúor eru mabrennisteinshexaflúoríð (SF6), wolfram hexaflúoríð (WF6),koltetraflúoríð (CF4), tríflúormetan (CHF3), köfnunarefnistríflúoríð (NF3), hexaflúoretan (C2F6) og oktaflúorprópan (C3F8).
Með þróun nanótækni og stórfelldri þróun rafeindaiðnaðarins mun eftirspurn hans aukast dag frá degi. Köfnunarefnistríflúoríð, sem ómissandi og mest notað sérstakt rafeindagas í framleiðslu og vinnslu á spjöldum og hálfleiðurum, hefur breitt markaðsrými.
Sem tegund af sérstöku gasi sem inniheldur flúor,köfnunarefnistríflúoríð (NF3)er rafræna sérgasvaran með mesta markaðsgetu. Það er efnafræðilega óvirkt við stofuhita, virkara en súrefni við háan hita, stöðugra en flúor og auðvelt að meðhöndla það. Köfnunarefnistríflúoríð er aðallega notað sem ætargas í plasma og hreinsiefni fyrir hvarfhólf og er hentugur fyrir framleiðslu á hálfleiðaraflísum, flatskjáum, ljóstrefjum, ljósafrumum osfrv.
Í samanburði við aðrar rafeindalofttegundir sem innihalda flúor,köfnunarefnistríflúoríðhefur kosti hraðvirkrar viðbragðs og mikillar skilvirkni. Sérstaklega við ætingu á efnum sem innihalda sílikon eins og kísilnítríð, hefur það mikla ætingarhraða og sérhæfni, sem skilur engar leifar eftir á yfirborði æta hlutarins. Það er líka mjög gott hreinsiefni og hefur enga mengun á yfirborðinu, sem getur mætt þörfum vinnsluferlisins.
Birtingartími: 14. september 2024
