Algengar flúor-innihaldandi sérstakar rafeindalofttegundir eru meðal annarsbrennisteinshexaflúoríð (SF6), wolfram hexaflúoríð (WF6),kolefnistetraflúoríð (CF4), tríflúormetan (CHF3), köfnunarefnistríflúoríð (NF3), hexaflúoretan (C2F6) og oktaflúorprópan (C3F8).
Með þróun nanótækni og stórfelldri þróun rafeindaiðnaðarins mun eftirspurn eftir henni aukast dag frá degi. Niturtríflúoríð, sem ómissandi og mest notaða sérstakt rafeindagas í framleiðslu og vinnslu spjalda og hálfleiðara, hefur breitt markaðssvæði.
Sem tegund af flúorinnihaldandi sérstöku gasi,köfnunarefnistríflúoríð (NF3)er rafeindagasafurðin með mesta markaðsgetu. Hún er efnafræðilega óvirk við stofuhita, virkari en súrefni við háan hita, stöðugri en flúor og auðveld í meðhöndlun. Köfnunarefnistríflúoríð er aðallega notað sem plasmaetsunargas og hreinsiefni fyrir hvarfklefa og hentar vel fyrir framleiðslu á hálfleiðaraflögum, flatskjám, ljósleiðurum, sólarsellum o.s.frv.
Í samanburði við aðrar rafeindagas sem innihalda flúor,köfnunarefnistríflúoríðÞað hefur kosti hraðvirkrar viðbragðs og mikillar skilvirkni. Sérstaklega við etsun á kísilinnihaldandi efnum eins og kísilnítríði hefur það hátt etshraða og sértækni og skilur ekki eftir leifar á yfirborði etsaðs hlutar. Það er einnig mjög gott hreinsiefni og mengar ekki yfirborðið, sem getur uppfyllt þarfir vinnsluferlisins.
Birtingartími: 14. september 2024
