Rafræntsérstök lofttegundireru mikilvæg grein sérstakra lofttegunda. Þær komast inn í nánast alla hlekki framleiðslu hálfleiðara og eru ómissandi hráefni fyrir framleiðslu rafeindaiðnaðar eins og stórra samþættra hringrása, flatskjáa og sólarsella.

Í hálfleiðaratækni eru flúor-innihaldandi lofttegundir mikið notaðar. Eins og er, á heimsvísu, eru flúor-innihaldandi rafeindalofttegundir um 30% af heildarmagninu. Flúor-innihaldandi rafeindalofttegundir eru mikilvægur þáttur í sérstökum rafeindalofttegundum á sviði rafrænna upplýsingaefna. Þær eru aðallega notaðar sem hreinsiefni og etsefni, og geta einnig verið notaðar sem efni til að mynda efni sem mynda filmu o.s.frv. Í þessari grein mun höfundurinn leiða þig í skilning á algengum flúor-innihaldandi lofttegundum.

Eftirfarandi eru algengar flúor-innihaldandi lofttegundir

Köfnunarefnistríflúoríð (NF3): Gas sem notað er til að þrífa og fjarlægja útfellingar, venjulega notað til að þrífa hvarfklefa og yfirborð búnaðar.

Brennisteinshexaflúoríð (SF6)Flúorefni sem notað er í oxíðútfellingarferlum og sem einangrunargas til að fylla einangrunarefni.

Vetnisflúoríð (HF): Notað til að fjarlægja oxíð af kísilyfirborði og sem etsefni til að etsa kísil og önnur efni.

Köfnunarefnisflúoríð (NF): Notað til að etsa efni eins og kísillnítríð (SiN) og álnítríð (AlN).

Tríflúormetan (CHF3) ogtetraflúormetan (CF4)Notað til að etsa flúoríðefni eins og kísillflúoríð og álflúoríð.

Hins vegar hafa flúorinnihaldandi lofttegundir í för með sér ákveðnar hættur, þar á meðal eituráhrif, tæringargetu og eldfimleika.

Eituráhrif

Sumar flúor-innihaldandi lofttegundir eru eitraðar, svo sem vetnisflúoríð (HF), sem gufa er mjög ertandi fyrir húð og öndunarfæri og skaðleg heilsu manna.

Ætandi áhrif

Vetnisflúoríð og sum flúoríð eru mjög ætandi og geta valdið alvarlegum skaða á húð, augum og öndunarfærum.

Eldfimi

Sum flúoríð eru eldfim og hvarfast við súrefni eða vatn í loftinu og losa mikinn hita og eitraðar lofttegundir sem geta valdið eldsvoða eða sprengingu.

Hætta vegna háþrýstings

Sum flúoruð lofttegundir eru sprengifimar við mikinn þrýsting og þarfnast sérstakrar varúðar við notkun og geymslu.

Áhrif á umhverfið

Flúorinnihaldandi lofttegundir hafa langan líftíma í andrúmsloftinu og GWP-gildi, sem hafa skaðleg áhrif á ósonlagið í andrúmsloftinu og geta valdið hlýnun jarðar og umhverfismengun.

Notkun lofttegunda á nýjum sviðum eins og rafeindatækni heldur áfram að aukast og leiðir til mikillar nýrrar eftirspurnar eftir iðnaðarlofttegundum. Vegna mikillar nýrrar framleiðslugetu helstu rafeindaíhluta eins og hálfleiðara og skjáa á meginlandi Kína á næstu árum, sem og mikillar eftirspurnar eftir innfluttum efnum í stað rafeindaefna, mun innlend rafeindagasiðnaður leiða til mikils vaxtar.