Rafrænsérstakar lofttegundireru mikilvæg grein sérstakra lofttegunda. Þeir komast í gegnum næstum alla hlekki hálfleiðaraframleiðslu og eru ómissandi hráefni til framleiðslu rafeindaiðnaðar eins og ofurstórra samþættra hringrása, flatskjátækja og sólarsellur.

Í hálfleiðaratækni eru lofttegundir sem innihalda flúor mikið notaðar. Eins og er, á alþjóðlegum rafgasmarkaði, eru rafeindalofttegundir sem innihalda flúor um 30% af heildinni. Rafeindalofttegundir sem innihalda flúor eru mikilvægur þáttur sérstakra rafgastegunda á sviði rafrænna upplýsingaefna. Þau eru aðallega notuð sem hreinsiefni og ætingarefni, og geta einnig verið notuð sem dópefni, filmumyndandi efni osfrv. Í þessari grein mun höfundur leiða þig til að skilja algengar flúor-innihaldandi lofttegundir.

Eftirfarandi eru algengar lofttegundir sem innihalda flúor

Köfnunarefnistríflúoríð (NF3): Lofttegund sem notuð er til að hreinsa og fjarlægja útfellingar, venjulega notuð til að hreinsa hvarfhólf og yfirborð búnaðar.

Brennisteinshexaflúoríð (SF6): Flúormiðill sem notaður er í oxíðútfellingarferlum og sem einangrunargas til að fylla á einangrunarefni.

Vetnisflúoríð (HF): Notað til að fjarlægja oxíð af kísilyfirborðinu og sem etsefni til að æta kísil og önnur efni.

Köfnunarefnisflúoríð (NF): Notað til að æta efni eins og kísilnítríð (SiN) og álnítríð (AlN).

Tríflúormetan (CHF3) ogtetraflúormetan (CF4): Notað til að etsa flúoríð efni eins og kísilflúoríð og álflúoríð.

Hins vegar eru lofttegundir sem innihalda flúor ákveðnar hættur, þar á meðal eiturhrif, ætandi og eldfimi.

Eiturhrif

Sumar lofttegundir sem innihalda flúor eru eitraðar, svo sem vetnisflúoríð (HF), þar sem gufan er mjög ertandi fyrir húð og öndunarfæri og er skaðleg heilsu manna.

Ætandi

Vetnisflúoríð og sum flúoríð eru mjög ætandi og geta valdið alvarlegum skaða á húð, augum og öndunarfærum.

Eldfimi

Sum flúoríð eru eldfim og hvarfast við súrefni eða vatn í loftinu til að losa mikinn hita og eitraðar lofttegundir sem geta valdið eldi eða sprengingu.

Háþrýstingshætta

Sumar flúoraðar lofttegundir eru sprengifimar við háan þrýsting og þurfa sérstaka aðgát við notkun og geymslu.

Áhrif á umhverfið

Lofttegundir sem innihalda flúor hafa háan líftíma andrúmsloftsins og GWP gildi, sem hafa eyðileggjandi áhrif á ósonlagið í andrúmsloftinu og geta valdið hlýnun jarðar og umhverfismengun.

Notkun lofttegunda á vaxandi sviðum eins og rafeindatækni heldur áfram að dýpka, sem leiðir til mikillar nýrrar eftirspurnar eftir iðnaðarlofttegundum. Byggt á miklu magni nýrrar framleiðslugetu helstu rafeindaíhluta eins og hálfleiðara og skjáborða á meginlandi Kína á næstu árum, sem og mikillar eftirspurnar eftir innflutningi í stað rafeindaefna, mun innlend rafeindagasiðnaður hefjast handa. háan vaxtarhraða.