Rafræntsérstakar lofttegundireru mikilvæg grein sérstaks lofttegunda. Þeir komast inn í næstum alla hlekk á hálfleiðara framleiðslu og eru ómissandi hráefni til framleiðslu rafeindaiðnaðar eins og öfgafullar samþættar hringrásir, flatskjá og sólarfrumur.

Í hálfleiðara tækni eru lofttegundir sem innihalda flúor mikið notaðar. Sem stendur, á alþjóðlegum rafrænum gasmarkaði, eru rafrænar lofttegundir sem innihalda flúor um 30% af heildinni. Rafrænar lofttegundir sem innihalda flúor eru mikilvægur þáttur í sérstökum rafrænum lofttegundum á sviði rafrænna upplýsingaefni. Þau eru aðallega notuð sem hreinsiefni og ætingarlyf, og einnig er hægt að nota þau sem dópants, kvikmyndamyndandi efni osfrv. Í þessari grein mun höfundur taka þig til að skilja sameiginlega lofttegundir sem innihalda flúor.

Eftirfarandi eru oft notaðar lofttegundir sem innihalda flúor

Köfnunarefnis trifluoride (NF3): Gas sem notað er til að hreinsa og fjarlægja útfellingar, venjulega notað til að hreinsa viðbragðshólf og yfirborð búnaðar.

Brennisteinshexafluoride (SF6): Flúrandi lyf sem notað er í oxíð útfellingarferlum og sem einangrunargas til að fylla einangrunarmiðla.

Vetnisflúoríð (HF): Notað til að fjarlægja oxíð frá kísilyfirborði og sem etsant til etsandi kísils og annarra efna.

Köfnunarefnisflúoríð (NF): Notað til að eta efni eins og kísilnítríð (SIN) og álnítríð (ALN).

Trifluoromethane (CHF3) ogtetrafluormetan (CF4): Notað til að eta flúoríð efni eins og kísilflúoríð og álflúoríð.

Samt sem áður hafa flúor sem innihalda lofttegundir ákveðnar hættur, þar með talið eiturhrif, tærni og eldfimi.

Eituráhrif

Sumar lofttegundir sem innihalda flúor eru eitruð, svo sem vetnisflúoríð (HF), þar sem gufan er mjög pirrandi á húð og öndunarfærum og skaðleg heilsu manna.

Tærni

Vetnisflúoríð og sum flúoríð eru mjög ætandi og geta valdið alvarlegu skemmdum á húð, augum og öndunarfærum.

Eldfimi

Sum flúoríð eru eldfim og bregðast við súrefni eða vatni í loftinu til að losa um mikinn hita og eitruð lofttegundir, sem geta valdið eldi eða sprengingu.

Háþrýstingshætta

Sumar flúoraðar lofttegundir eru sprengilegar undir háum þrýstingi og þurfa sérstaka umönnun þegar þær eru notaðar og geymdar.

Áhrif á umhverfið

Lofttegundir sem innihalda flúor hafa mikla líftíma andrúmsloftsins og GWP gildi, sem hafa eyðileggjandi áhrif á ósonlagið í andrúmsloftinu og geta valdið hlýnun jarðar og umhverfismengun.

Notkun lofttegunda á nýjum sviðum eins og rafeindatækni heldur áfram að dýpka og færir mikið af nýrri eftirspurn eftir iðnaðar lofttegundum. Byggt á miklu magni af nýjum framleiðslugetu helstu rafrænna íhluta eins og hálfleiðara og sýna spjöld á meginlandi Kína á næstu árum, svo og sterk eftirspurn eftir innflutningi rafrænna efnaefni, mun innlendir rafeindabensíniðnaðurinn koma í veg fyrir mikinn vaxtarhraða.