Þurretsunartækni er ein af lykilferlunum. Þurretsunargas er lykilefni í framleiðslu hálfleiðara og mikilvæg gasgjafi fyrir plasmaetsun. Afköst þess hafa bein áhrif á gæði og afköst lokaafurðarinnar. Þessi grein fjallar aðallega um algengustu etsunargasin í þurretunarferlinu.
Flúor-byggð lofttegundir: eins ogkolefnistetraflúoríð (CF4), hexaflúoretan (C2F6), tríflúormetan (CHF3) og perflúorprópan (C3F8). Þessar lofttegundir geta á áhrifaríkan hátt myndað rokgjörn flúoríð við etsun kísils og kísilssambanda og þannig fjarlægt efni.
Klórbundin lofttegundir: eins og klór (Cl2),bórtríklóríð (BCl3)og kísiltetraklóríð (SiCl4). Klórbundin lofttegundir geta gefið frá sér klóríðjónir við etsunarferlið, sem hjálpar til við að bæta etsunarhraða og sértækni.
Brómgas: eins og bróm (Br2) og brómjoðíð (IBr). Brómgas getur veitt betri etsunargetu í ákveðnum etsunarferlum, sérstaklega þegar hart efni eins og kísillkarbíð er etsað.
Köfnunarefnis- og súrefnisbundnar lofttegundir: eins og köfnunarefnistríflúoríð (NF3) og súrefni (O2). Þessar lofttegundir eru venjulega notaðar til að stilla viðbragðsskilyrði í etsunarferlinu til að bæta sértækni og stefnu etsunar.
Þessar lofttegundir ná fram nákvæmri etsun á yfirborði efnisins með blöndu af eðlisfræðilegri spútrun og efnahvörfum við plasmaetsun. Val á etslofttegund fer eftir gerð efnisins sem á að etsa, kröfum um sértækni etsunarinnar og æskilegum etshraða.
Birtingartími: 8. febrúar 2025
