Hvað er kolefni tetrafluoride? Hver er notkunin?

Hvað erKolefnis tetrafluoride? Hver er notkunin?

Kolefnis tetrafluoride, einnig þekkt sem tetraflúormetan, er litið á ólífrænt efnasamband. Það er notað í plasma etsunarferli ýmissa samþættra hringrásar, og einnig notað sem leysir gas og kælimiðill. Það er tiltölulega stöðugt við venjulegan hitastig og þrýsting, en það er nauðsynlegt að forðast snertingu við sterk oxunarefni, eldfim eða eldfim efni. Kolefnis tetrafluoride er gas sem ekki er samsvörun. Ef það lendir í miklum hita mun það valda því að innri þrýstingur gámsins eykst og hætta er á sprungu og sprengingu. Venjulega getur það aðeins haft samskipti við fljótandi ammoníak-natríum málm hvarfefni við stofuhita.

Kolefnis tetrafluorideer sem stendur stærsta plasma etsunargasið sem notað er í ör rafeindatækni. Það er hægt að nota mikið við etsing á kísill, kísildíoxíði, fosfosílíkatgleri og öðru þunnu filmuefni, hreinsa yfirborð rafeindatækja, sólarfrumuframleiðslu, leysitækni, einangrun með gasfasa, lághita kæli, leka uppgötvunarefni og þvottaefni í prentaðri hringrásarframleiðslu hafa mikið af notkun.