Hvað er koltetraflúoríð? Hver er notkun þess?

Hvað erkolefnistetraflúoríðHvað er tilgangurinn?

KoltetraflúoríðKolefnistetraflúoríð, einnig þekkt sem tetraflúormetan, er talið ólífrænt efnasamband. Það er notað í plasmaetsunarferli ýmissa samþættra hringrása og einnig notað sem leysigeisli og kælimiðill. Það er tiltölulega stöðugt við eðlilegt hitastig og þrýsting, en nauðsynlegt er að forðast snertingu við sterk oxunarefni, eldfim eða eldfim efni. Kolefnistetraflúoríð er óeldfimt gas. Ef það kemst í snertingu við mikinn hita mun það valda því að innri þrýstingur í ílátinu eykst og hætta er á sprungum og sprengingu. Venjulega getur það aðeins haft samskipti við fljótandi ammóníak-natríum málmhvarfefni við stofuhita.

Koltetraflúoríðer nú stærsta plasmaetsgasið sem notað er í ör-rafeindaiðnaðinum. Það er mikið notað í etsun á kísil, kísildíoxíði, fosfósílíkatgleri og öðrum þunnfilmuefnum, hreinsun á yfirborði rafeindatækja, framleiðslu sólarsella, leysigeislatækni, gasfasaeinangrun, lághitakælingu, lekagreiningarefni og þvottaefni í framleiðslu prentaðra rafrása hafa fjölmörg notkunarsvið.