Hvað er koltetraflúoríð? Hver er tilgangurinn?

Hvað erkoltetreflúoríð? Hver er tilgangurinn?

Koltetraflúoríð, einnig þekkt sem tetraflúormetan, er litið á sem ólífrænt efnasamband. Það er notað í plasma ætingarferli ýmissa samþættra hringrása og einnig notað sem leysigas og kælimiðill. Það er tiltölulega stöðugt við eðlilegt hitastig og þrýsting, en það er nauðsynlegt að forðast snertingu við sterk oxunarefni, eldfim eða eldfim efni. Koltetraflúoríð er óbrennanleg lofttegund. Ef það lendir í miklum hita mun það valda því að innri þrýstingur ílátsins eykst og hætta er á sprungum og sprengingu. Venjulega getur það aðeins haft samskipti við fljótandi ammoníak-natríum málm hvarfefni við stofuhita.

Koltetraflúoríðer sem stendur stærsta plasmaætingargasið sem notað er í öreindatækniiðnaðinum. Það er hægt að nota mikið við ætingu á kísil, kísildíoxíði, fosfósílíkatgleri og öðrum þunnfilmuefnum, hreinsun yfirborðs rafeindatækja, sólarselluframleiðslu, leysitækni, gasfasa einangrun, lághita kælingu, lekaleitarefni, og þvottaefni í framleiðslu á prentuðum hringrásum hafa mikinn fjölda notkunar.