Hluti | 99,9999% | Eining |
Súrefni (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Nitur | ≤0,1 | ppmV |
Vetni | ≤20 | ppmV |
Helíum | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klórsílan | ≤0,1 | ppmV |
Disiloxan | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Raki (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Sílan er efnasamband úr sílikoni og vetni.Það er almennt hugtak fyrir röð efnasambanda, þar á meðal mónósílan (SiH4), disilan (Si2H6) og sum kísil-vetnissambönd á hærra stigi.Meðal þeirra er mónósílan algengast, stundum nefnt sílan í stuttu máli.Sílan er litlaus gas með ógeðslegri lykt af hvítlauk.Leysanlegt í vatni, næstum óleysanlegt í etanóli, eter, benseni, klóróformi, kísilklóróformi og kísiltetraklóríði.Efnafræðilegir eiginleikar sílana eru mun virkari en alkana og oxast auðveldlega.Sjálfkviknaður getur átt sér stað þegar hann kemst í snertingu við loft.Það hvarfast ekki við köfnunarefni undir 25°C og hvarfast ekki við kolvetnissambönd við stofuhita.Eldur og sprenging á sílan er afleiðing af viðbrögðum við súrefni.Sílan er mjög viðkvæmt fyrir súrefni og lofti.Sílan með ákveðnum styrk mun einnig hvarfast með sprengiefni við súrefni við -180°C hita.Sílan hefur orðið mikilvægasta sérstaka gasið sem notað er í hálfleiðurum örraeindaferlum og er notað við framleiðslu á ýmsum örrafrænum filmum, þar á meðal einkristalfilmum, örkristalluðum, fjölkristalluðum, kísiloxíði, kísilnítríði og málmkísilíðum.Örrafræn notkun sílans er enn að þróast í dýpt: lághitaeintak, sértækt þekja og heteroepitaxial.Ekki aðeins fyrir sílikon tæki og sílikon samþættar hringrásir, heldur einnig fyrir samsett hálfleiðara tæki (gallíumarseníð, kísilkarbíð osfrv.).Það hefur einnig notkun við framleiðslu á ofurgrindar skammtabrunnsefnum.Það má segja að sílan sé notað í næstum öllum háþróuðum samþættum hringrásarframleiðslulínum í nútímanum.Notkun sílans sem filmu og húðunar sem inniheldur sílikon hefur stækkað frá hefðbundnum öreindaiðnaði til ýmissa sviða eins og stál, véla, efna og ljósfræði.Önnur möguleg notkun sílans er framleiðsla á afkastamiklum keramikvélarhlutum, sérstaklega notkun sílans til að framleiða silicide (Si3N4, SiC, osfrv.) örpúðurtækni hefur vakið meiri og meiri athygli.
①Rafræn:
Sílan er borið á fjölkristallað sílikonlög á sílikonplötum við framleiðslu á hálfleiðurum og þéttiefnum.
②Sól:
Sílan er notað í framleiðslu á sólarljósaeiningum.
③ Iðnaður:
Það er notað í orkusparandi grænt gler og notað í gufuútfellingu þunnfilmuferlis.
Vara | Silane SiH4 vökvi | |
Pakkningastærð | 47Ltr strokka | Y-440L |
Fylling Nettóþyngd/Cyl | 10 kg | 125 kg |
Magn Hlaðið í 20' ílát | 250 síl | 8 síl |
Heildareiginleg þyngd | 2,5 tonn | 1 tonn |
Þyngd strokka | 52 kg | 680 kg |
Loki | CGA632/DISS632 |
① Meira en tíu ár á markaðnum;
②ISO vottorð framleiðandi;
③Fljótur afhending;
④ Stöðugt uppspretta hráefnis;
⑤On-line greiningarkerfi fyrir gæðaeftirlit í hverju skrefi;
⑥ Mikil krafa og nákvæmt ferli til að meðhöndla strokka fyrir fyllingu;
⑦Hreinleiki: rafræn einkunn með mikilli hreinleika;
⑧Notkun: sólarselluefni;búa til háhreinleika pólýkísil, kísiloxíð og ljósleiðara;framleiðsla á lituðu gleri.