Epitaxial (vöxtur)Blandað gas

Í hálfleiðaraiðnaðinum er gasið sem notað er til að rækta eitt eða fleiri lög af efni með efnafræðilegri gufuútfellingu á vandlega valið undirlag kallað epitaxial gas.

Algengt er notaður kísilþekju lofttegundir eru díklórosilan, kísil tetraklóríð ogSilane. Aðallega notað við útfellingu sílikons, kísiloxíðfilmu, kísilnítríðfilmuútfellingu, myndlausa kísilfilmuútfellingu fyrir sólarfrumur og aðra ljósmynda viðtaka osfrv. Epitaxy er ferli þar sem eitt kristalefni er sett og ræktað á yfirborði undirlags.

Efnafræðileg gufuútfelling (CVD) Blandað gas

CVD er aðferð til að setja ákveðna þætti og efnasambönd með efnafasa efnafræðilegum viðbrögðum með því að nota rokgjörn efnasambönd, þ.e. filmumyndunaraðferð með efnafræðilegum viðbrögðum. Það fer eftir tegund filmu sem myndast, efnafræðilega gufuútfellingin (CVD) gasið sem notað er er einnig mismunandi.

LyfjamisnotkunBlandað bensín

Við framleiðslu á hálfleiðara tækjum og samþættum hringrásum eru ákveðin óhreinindi dópuð í hálfleiðara efni til að gefa efnunum nauðsynlega leiðni gerð og ákveðin viðnám við framleiðslu viðnám, PN mótum, grafin lög osfrv. Gasið sem notað er í lyfjameðferðarferlinu er kallað dópandi gas.

Felur aðallega í sér arsín, fosfín, fosfór tríflúoríð, fosfórpentaflúoríð, arsenískt tríflúoríð, arsenísk pentafluoride,Boron trifluoride, Diborane, ETC.

Venjulega er lyfjagjafarinn blandaður með burðargasi (svo sem argon og köfnunarefni) í upprunaskáp. Eftir blöndun er gasflæðinu stöðugt sprautað í dreifingarofninn og umlykur skífuna, setur dópefna á yfirborð skífunnar og bregst síðan við kísil til að mynda dópaða málma sem flytja í kísil.

EtsingGasblanda

Æting er að eta frávinnsluyfirborðið (svo sem málmfilmu, kísiloxíðfilmu osfrv.) Á undirlagið án ljósmynda grímu, en varðveita svæðið með ljósritunargrímu, svo að fá nauðsynlegt myndgreiningarmynstur á yfirborð undirlagsins.

Ætingaraðferðir fela í sér blautan efnafræðilega ætingu og þurran etsingu. Gasið sem notað er við þurra efnafræðilegan ets er kallað ætingargas.

Ætunargas er venjulega flúoríðgas (halíð), svo semKolefnis tetrafluoride, köfnunarefnis trifluoride, trifluorethane, hexafluoroethane, perfluoropropane, etc.