Í framleiðsluferli hálfleiðara Wafer Foundries með tiltölulega háþróaða framleiðsluferla er þörf á næstum 50 mismunandi gerðum lofttegunda. Lofttegundir eru venjulega skipt í magn lofttegunda ogsérstakar lofttegundir.

Notkun lofttegunda í ör rafeindatækni og hálfleiðara atvinnugreinum. Notkun lofttegunda hefur alltaf gegnt mikilvægu hlutverki í hálfleiðara ferlum, sérstaklega hálfleiðara ferli eru mikið notaðir í ýmsum atvinnugreinum. Frá ulsi, TFT-LCD til núverandi ör-rafsegulsækni (MEMS) iðnaðar, er hálfleiðandi ferli notaður sem framleiðsluferli vöru, þar með talið þurrt æting, oxun, jónígræðsla, þunn filmuútfelling osfrv.

Til dæmis vita margir að franskar eru úr sandi, en þegar litið er á allt ferlið við framleiðslu á flísum er þörf á fleiri efnum, svo sem ljósmyndari, fægivökvi, markefni, sérstakt gas osfrv. Afturverndarumbúðir krefjast einnig undirlags, samlags, blýgrindar, tengingarefna o.s.frv. Af ýmsum efnum. Rafrænar sérstakar lofttegundir eru næststærsta efnið í framleiðslukostnaði hálfleiðara eftir sílikonþurrkur, fylgt eftir með grímum og ljósmyndum.

Hreinleiki gas hefur afgerandi áhrif á afköst íhluta og afköst vöru og öryggi gasframboðs tengist heilsu starfsfólks og öryggi verksmiðju. Af hverju hefur hreinleiki bensíns svo mikil áhrif á ferlislínuna og starfsfólk? Þetta er ekki ýkja, heldur ræðst af hættulegum einkennum gassins sjálfs.

Flokkun algengra lofttegunda í hálfleiðaraiðnaðinum

Venjulegt bensín

Venjulegt gas er einnig kallað magn gas: það vísar til iðnaðargas með hreinleikaþörf lægri en 5N og stórt framleiðslu- og sölumagn. Það er hægt að skipta því í loftaðskilnaðargas og tilbúið gas í samræmi við mismunandi undirbúningsaðferðir. Vetni (H2), köfnunarefni (N2), súrefni (O2), argon (A2) osfrv.;

Sérgrein

Sérsviðsgas vísar til iðnaðargas sem er notað á tilteknum sviðum og hefur sérstakar kröfur um hreinleika, fjölbreytni og eiginleika. AðallegaSIH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, Pocl3, sih2cl2, sihcl3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… Og svo framvegis.

Tegundir spáðra lofttegunda

Tegundir sérstakra lofttegunda: ætandi, eitruð, eldfim, brennslustuðning, óvirk osfrv.
Algengt er að nota hálfleiðara lofttegundir eru flokkaðar á eftirfarandi hátt:
(i) ætandi/eitrað:HCL、 BF3 、 WF6 、 HBR 、 SIH2CL2 、 NH3 、 PH3 、 CL2 、Bcl3…
(ii) eldfimt: H2 、CH4、SIH4、 PH3 、 ASH3 、 SIH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO ...
(iii) eldfim: O2 、 CL2 、 N2O 、 NF3 ...
(iv) óvirk: N2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 Hann ...

Í því ferli að framleiða hálfleiðara flís eru um 50 mismunandi gerðir af sérstökum lofttegundum (vísað til sem sérstakra lofttegunda) notaðar við oxun, dreifingu, útfellingu, ætingu, innspýtingu, ljósritun og aðra ferla og heildarferilskrefin fara yfir hundruð. Til dæmis eru PH3 og ASH3 notuð sem fosfór og arsenískar uppsprettur í jónígræðsluferlinu, F-byggðar lofttegundir CF4, CHF3, SF6 og halógen lofttegundir CI2, BCI3, HBR eru oft notaðar í etsunarferlinu, SIH4, NH3, N2O í útfærsluferli, F2/KR/NE, KR/NE í ljóshitaferli.

Af ofangreindum þáttum getum við skilið að margar hálfleiðara lofttegundir eru skaðlegar mannslíkamanum. Einkum eru sumar lofttegundirnar, svo sem SIH4, sjálf -nar. Svo lengi sem þeir leka munu þeir bregðast ofbeldi við súrefni í loftinu og byrja að brenna; og ASH3 er mjög eitrað. Allur smávægilegur leki getur valdið skaða á lífi fólks, þannig að kröfur um öryggi stjórnunarkerfishönnunarinnar til notkunar sérstakra lofttegunda eru sérstaklega miklar.

Hálfleiðarar þurfa mikið á lofttegundum að hafa „þrjár gráður“

Gashreinleiki

Innihald óhreininda andrúmsloftsins í gasinu er venjulega gefið upp sem hlutfall af hreinleika gas, svo sem 99.9999%. Almennt séð nær hreinleikakrafan fyrir rafrænum sérstökum lofttegundum 5N-6N og er einnig tjáð með rúmmálshlutfalli óhreininda andrúmslofts innihalds ppm (hluti á milljón), ppb (hluti á hverja milljarða) og ppt (hluti á trilljón). Rafræna hálfleiðarasviðið hefur mestar kröfur um hreinleika og gæðastöðugleika sérstakra lofttegunda og hreinleiki rafrænna sérstakra lofttegunda er yfirleitt meiri en 6N.

Þurrkur

Innihald snefilvatns í gasinu, eða bleytu, er venjulega tjáð í döggpunkti, svo sem andrúmsloftsgeislun -70 ℃.

Hreinlæti

Fjöldi mengandi agna í gasinu, agnir með agnastærð µM, er tjáð í því hversu margar agnir/m3. Fyrir þjappað loft er það venjulega gefið upp í mg/m3 af óhjákvæmilegum fastum leifum, sem felur í sér olíuinnihald.