Íhlutur | 99,9999% | Eining |
Súrefni (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Köfnunarefni | ≤0,1 | ppmV |
Vetni | ≤20 | ppmV |
Helíum | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klórsílanar | ≤0,1 | ppmV |
Dísiloxan | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Raki (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Sílan er efnasamband kísils og vetnis. Það er almennt hugtak yfir röð efnasambanda, þar á meðal mónósílan (SiH4), dísílan (Si2H6) og nokkur kísill-vetnisefnasambönd af hærri styrk. Meðal þeirra er mónósílan algengasta, stundum kallað sílan í stuttu máli. Sílan er litlaus gas með ógeðfelldri hvítlaukslykt. Leysanlegt í vatni, næstum óleysanlegt í etanóli, eter, bensen, klóróformi, kísillklóróformi og kísiltetraklóríði. Efnafræðilegir eiginleikar sílan eru mun virkari en alkana og oxast auðveldlega. Sjálfsvígð kveikja getur átt sér stað við snertingu við loft. Það hvarfast ekki við köfnunarefni undir 25°C og hvarfast ekki við kolvetnisefnasambönd við stofuhita. Eldur og sprenging í sílani eru afleiðing af hvarfi við súrefni. Sílan er afar viðkvæmt fyrir súrefni og lofti. Sílan með ákveðnum styrk mun einnig hvarfast sprengilega við súrefni við hitastig upp á -180°C. Sílan hefur orðið mikilvægasta sérstaka gasið sem notað er í örrafeindatækni í hálfleiðurum og er notað við framleiðslu á ýmsum örrafeindafilmum, þar á meðal einkristallafilmum, örkristallafilmum, fjölkristallafilmum, kísilloxíði, kísillnítríði og málmkíslum. Örrafeindatæknileg notkun sílans er enn að þróast ítarlega: lághita epitaxía, sértæk epitaxía og heteróepitaxial epitaxía. Ekki aðeins fyrir kísilltæki og kísillsamþætta hringrás, heldur einnig fyrir samsetta hálfleiðaratæki (gallíumarseníð, kísillkarbíð o.s.frv.). Það hefur einnig notkun við framleiðslu á ofurristarkvantumbrunnsefnum. Segja má að sílan sé notað í næstum öllum háþróuðum framleiðslulínum fyrir samþætta hringrás á nútímanum. Notkun sílans sem kísillinnihaldandi filmu og húðun hefur stækkað frá hefðbundnum örrafeindaiðnaði til ýmissa sviða eins og stáls, véla, efna og ljósfræði. Önnur möguleg notkun sílans er framleiðsla á afkastamiklum keramikvélahlutum, sérstaklega notkun sílans til að framleiða kísillíð (Si3N4, SiC o.s.frv.) ördufttækni hefur vakið meiri og meiri athygli.
①Rafrænt:
Sílan er borið á pólýkristallað kísillög á kísilskífum við framleiðslu á hálfleiðurum og þéttiefnum.
②Sól:
Sílan er notað í framleiðslu á sólarljóseiningum.
③Iðnaðar:
Það er notað í orkusparandi grænu gleri og beitt í gufuútfellingarþunnfilmuferli.
Vara | Sílan SiH4 vökvi | |
Stærð pakka | 47 lítra strokkur | Y-440L |
Nettóþyngd áfyllingar/strokka | 10 kg | 125 kg |
Magn hlaðið í 20' gám | 250 strokka | 8 strokka |
Heildar nettóþyngd | 2,5 tonn | 1 tonn |
Þyngd strokksins | 52 kg | 680 kg |
Loki | CGA632/DISS632 |
①Meira en tíu ár á markaðnum;
②ISO vottorð framleiðandi;
③ Hrað afhending;
④Stöðug hráefnisgjafi;
⑤Greiningarkerfi á netinu fyrir gæðaeftirlit í hverju skrefi;
⑥Miklar kröfur og nákvæmt ferli við meðhöndlun strokksins fyrir fyllingu;
⑦Hreinleiki: rafræn gæði með mikilli hreinleika;
⑧Notkun: sólarselluefni; framleiðsla á hágæða pólýsílikoni, kísilloxíði og ljósleiðara; framleiðsla á lituðu gleri.