Hluti | 99,9999% | Eining |
Súrefni (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Nitur | ≤0,1 | ppmV |
Vetni | ≤20 | ppmV |
Helíum | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klórsílan | ≤0,1 | ppmV |
Disiloxan | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Raki (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Sílan er efnasamband úr sílikoni og vetni. Það er almennt hugtak fyrir röð efnasambanda, þar á meðal mónósílan (SiH4), disilan (Si2H6) og sum kísil-vetnissambönd á hærra stigi. Meðal þeirra er mónósílan algengast, stundum nefnt sílan í stuttu máli. Sílan er litlaus gas með ógeðslegri lykt af hvítlauk. Leysanlegt í vatni, næstum óleysanlegt í etanóli, eter, benseni, klóróformi, kísilklóróformi og kísiltetraklóríði. Efnafræðilegir eiginleikar sílana eru mun virkari en alkana og oxast auðveldlega. Sjálfkviknaður getur átt sér stað þegar hann kemst í snertingu við loft. Það hvarfast ekki við köfnunarefni undir 25°C og hvarfast ekki við kolvetnissambönd við stofuhita. Eldur og sprenging sílans er afleiðing af viðbrögðum við súrefni. Sílan er mjög viðkvæmt fyrir súrefni og lofti. Sílan með ákveðnum styrk mun einnig hvarfast með sprengiefni við súrefni við -180°C hita. Sílan er orðið mikilvægasta sérstaka gasið sem notað er í hálfleiðurum örraeindaferlum og er notað við framleiðslu á ýmsum örrafrænum filmum, þar á meðal einskristalfilmum, örkristalluðum, fjölkristalluðum, kísiloxíði, kísilnítríði og málmkísilíðum. Örrafræn notkun sílans er enn að þróast í dýpt: lághitaeintak, sértækt þekja og heteroepitaxískt þekja. Ekki aðeins fyrir sílikon tæki og sílikon samþættar hringrásir, heldur einnig fyrir samsett hálfleiðara tæki (gallíumarseníð, kísilkarbíð osfrv.). Það hefur einnig notkun við framleiðslu á ofurgrindum skammtabrunnsefnum. Það má segja að sílan sé notað í næstum öllum háþróuðum samþættum hringrásarframleiðslulínum í nútímanum. Notkun sílans sem filmu og húðunar sem inniheldur sílikon hefur stækkað frá hefðbundnum öreindaiðnaði til ýmissa sviða eins og stál, véla, efna og ljósfræði. Önnur möguleg notkun sílans er framleiðsla á afkastamiklum keramikvélarhlutum, sérstaklega notkun sílans til að framleiða silicide (Si3N4, SiC, osfrv.) örpúðurtækni hefur vakið meiri og meiri athygli.
①Rafræn:
Sílan er borið á fjölkristallað sílikonlög á sílikonplötum við framleiðslu á hálfleiðurum og þéttiefnum.
②Sól:
Sílan er notað í framleiðslu á sólarljósaeiningum.
③ Iðnaður:
Það er notað í orkusparandi grænt gler og notað í gufuútfellingu þunnfilmuferlis.
Vara | Silane SiH4 vökvi | |
Pakkningastærð | 47Ltr strokka | Y-440L |
Fylling Nettóþyngd/Cyl | 10 kg | 125 kg |
Magn Hlaðið í 20' ílát | 250 síl | 8 síl |
Heildareiginleg þyngd | 2,5 tonn | 1 tonn |
Þyngd strokka | 52 kg | 680 kg |
Loki | CGA632/DISS632 |
① Meira en tíu ár á markaðnum;
②ISO vottorð framleiðandi;
③Fljótur afhending;
④ Stöðugt uppspretta hráefnis;
⑤On-line greiningarkerfi fyrir gæðaeftirlit í hverju skrefi;
⑥ Mikil krafa og nákvæmt ferli til að meðhöndla strokka fyrir fyllingu;
⑦Hreinleiki: rafræn einkunn með mikilli hreinleika;
⑧Notkun: sólarselluefni; búa til háhreinleika pólýkísil, kísiloxíð og ljósleiðara; framleiðsla á lituðu gleri.